会员
微机电系统与设计
更新时间：2018-12-28 18:41:12 最新章节：参考文献
书籍简介
全书共8章，第1章初识微机电系统。第2章阐述了用于传感或执行元件工作的基本机理，并介绍了一些典型的微传感器和微执行器。第3章讨论了用于微机电系统的多种材料。第4章描述了怎样制造微机电系统和器件。第5章详细介绍了微机电系统的设计仿真、分级建模和MEMSCAD技术。第6章讲述了微机电系统设计和封装中相关的工程力学问题和尺度效应。第7章和第8章主要介绍微机电系统的封装和检测技术等。
上架时间：2010-05-01 00:00:00
出版社：电子工业出版社
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