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半导体芯片制造技术
更新时间：2018-12-27 16:21:33 最新章节：《半导体芯片制造技术》读者意见反馈表
书籍简介
全面系统地介绍了半导体芯片制造技术，内容包括半导体芯片制造概述、多晶半导体的制备、单晶半导体的制备、晶圆制备、薄膜制备、金属有机物化学气相沉积、光刻、刻蚀、掺杂及封装。书中简要介绍了半导体芯片制造的基本理论基础，系统介绍了多晶半导体、单晶半导体与晶圆的制备，详细介绍了薄膜制备、光刻与刻蚀及掺杂等工艺。由于目前光电产业的不断发展，对于化合物半导体的使用越来越多。
上架时间：2012-03-01 00:00:00
出版社：电子工业出版社
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杜中一主编
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