在纳米材料的制备过程和性能研究中需要知道有关参量，例如材料的结构状况、成分组成、缺陷分布、能级结构等，这些参量对改善材料制备工艺和提高材料性能具有不可缺少的参考价值.为此，我们可以通过各种分析手段来得到相关信息，这就是纳米薄膜材料的表征技术.