4.4　设备布置

4.4.1　振动敏感设备宜远离振动源布置。

4.4.2　生产设备宜根据工艺流程集中布置，并考虑设备搬运、维修空间。

4.4.3　金属有机化合物化学气相沉积设备及其辅助设备宜集中布置。

4.4.4　气瓶柜、尾气处理设备、气体纯化柜等金属有机化学气相沉积设备的辅助设备的布置方式，应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016和《特种气体系统工程技术规范》GB 50646的有关规定。