第一章　传感器概述

众所周知,人们具有“五官感觉”,即所谓的视觉、味觉、触觉、嗅觉、听觉。通过各种感觉器官,人们才能了解世界、认识自然、感知周围发生和变化的一切,从而改造自然,推动人类社会的进步,促进科学技术的发展。传感器技术就是实现“五官感觉的人工化”,即通过传感器的开发研究,依据仿生学技术,实现“人造”的五种感官,如图1⁃1所示。

图1⁃1　传感器原理

如果从可以感知光和力的传感器的研究算起,传感器的研究历史十分久远。人们早已知道的所谓“光电效应”“压电效应”等各种效应是利用物理现象转化为各种信息的过程,这就是物理传感器的研究范围。物理传感器的研制开发依附于半导体技术的研究成果,而目前的半导体技术正向微型化、集成化、超微技术加工、超微集成加工等方向发展,所以物理传感器的技术也随之同步发展,尤其是超微机械加工技术的应用,是非常引人注目的领域。